苏州华源控股股份有限公司

: 耗材零部件

Clean wafer

Chuck Cleaning Wafer 简称CCW、吸盘清洁片，是半导体设备专用粘性清洁晶圆，以标准硅片 / 玻璃片为基底，单面涂布高交联无尘吸附高分子涂层；将带胶面朝下吸附接触静电吸盘（ESC）、真空吸盘、探针台载台，在不打开腔体的前提下，快速粘除吸盘表面颗粒、工艺薄膜残渣、金属碎屑，属于设备预防性维护专用耗材。

产品参数

在半导体制造设备中，品圆背面接触的chuck 常会沾附物粒子导致设借与产品发生异常与品质不良。

WCT 是使用硅晶圆在表面涂饰一层含专有的高分子聚合物薄膜，透过自动化手臂传输，利用其黏性与吸附力去除chuck上的微粒子。

可应用于 vacuu chuck，E-chuck，hot plate，机械手臂等接触品背物件的清洁。

QQ截图20260626112117.png

综合半导体解决方案